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光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程的基本要求

光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程的基本要求
隨著科技的不斷發(fā)展,光學(xué)微電子行業(yè)在我國得到了迅速的發(fā)展。光學(xué)微電子產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于光通信、光顯示、光存儲等領(lǐng)域,其質(zhì)量直接影響到產(chǎn)品的性能和可靠性。為了確保光學(xué)微電子產(chǎn)品的生產(chǎn)環(huán)境達到高標(biāo)準,凈化工程在光學(xué)微電子行業(yè)扮演著至關(guān)重要的角色。以下是光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程的基本要求:

一、潔凈度要求
潔凈度等級:光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程《潔凈室空氣調(diào)節(jié)用空氣過濾器》標(biāo)準,根據(jù)不同生產(chǎn)環(huán)節(jié)的要求,選擇相應(yīng)的潔凈度等級。通常,光學(xué)微電子行業(yè)潔凈度等級分為N1級至N10級。

潔凈度控制:通過高效空氣過濾器(HEPA)對送風(fēng)進行處理,確保送風(fēng)潔凈度達到要求。同時,對回風(fēng)進行過濾,減少室內(nèi)塵埃顆粒的積累。

二、溫濕度控制
溫度:光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程對溫度的要求較高,一般控制在20℃±2℃范圍內(nèi)。溫度波動過大會影響光學(xué)微電子產(chǎn)品的性能。
濕度:濕度控制在40%-60%之間,避免因濕度過高導(dǎo)致產(chǎn)品受潮或因濕度過低導(dǎo)致靜電積累。

凈化工程

三、氣流組織
氣流速度:光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程中,氣流速度應(yīng)控制在0.2-0.5m/s之間,以確保塵埃顆粒在氣流作用下被有效控制。
氣流方向:氣流方向應(yīng)從潔凈度高的區(qū)域流向潔凈度低的區(qū)域,避免交叉污染。

四、防靜電措施
靜電防護材料:使用防靜電地板、防靜電工作臺等靜電防護材料,降低靜電產(chǎn)生。

靜電消除設(shè)備:安裝靜電消除器,及時消除靜電。

五、潔凈室裝修
裝修材料:選用符合環(huán)保標(biāo)準的裝修材料,避免有害物質(zhì)釋放。

裝修工藝:采用無塵施工工藝,確保裝修過程中不產(chǎn)生塵埃。

六、設(shè)備選型與安裝
設(shè)備選型:根據(jù)生產(chǎn)需求,選擇合適的凈化設(shè)備,如高效空氣過濾器、風(fēng)機、風(fēng)管等。

設(shè)備安裝:嚴格按照設(shè)備說明書進行安裝,確保設(shè)備運行穩(wěn)定。

總之,光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程的基本要求涵蓋了潔凈度、溫濕度、氣流組織、防靜電、裝修和設(shè)備選型與安裝等方面。只有滿足這些基本要求,才能確保光學(xué)微電子產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中的質(zhì)量,為我國光學(xué)微電子行業(yè)的發(fā)展提供有力保障。

凈化工程

無塵車間潔凈室裝置與規(guī)劃:
潔凈室選用不同的送風(fēng)及回風(fēng)體系的不同規(guī)劃是決議車間不同潔凈度等級的決議性要素。
1、標(biāo)準組合式空調(diào)風(fēng)柜+空氣過濾體系+潔凈室通風(fēng)保溫管道+HEPA高效送風(fēng)口+潔凈室回風(fēng)管道體系。這種方式能不斷循環(huán)和補充新風(fēng)進入潔凈室車間內(nèi),以達到出產(chǎn)環(huán)境所需的潔凈度。
2、潔凈室天花裝置FFU空氣凈化器直接往潔凈室送風(fēng)+回風(fēng)柱回風(fēng)體系+吸頂式空調(diào)機制冷。這種方式一般用于環(huán)境潔凈度要求不是非常高的場合,而且成本相對低一些。

質(zhì)量要求
生產(chǎn)車間按生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量要求,分為一般生產(chǎn)區(qū)、控制區(qū)和。設(shè)人員換鞋區(qū)、男女一、二次更衣室、洗手、手消毒、洗衣間、風(fēng)淋通道、潔凈人流走廊、物流貨淋室,貨淋走道通道、注塑間、膠墊吹塵、中儲庫、組裝間、內(nèi)包裝間、外包裝間及機房、物流等。機房設(shè)在三樓天面原小房間中,需做隔音防震處理; 冷卻塔及冷卻泵置于三樓天面;設(shè)備運行負荷符合樓板承重要求。
流動方向
人員流動方向:換鞋、更衣、洗手、手消毒–風(fēng)淋室–潔凈走廊–潔凈車間
在凈化車間及走廊設(shè)安全門, 便于人員疏散。
物品流動方向:物流通道——潔凈車間——–成品包裝凈化空調(diào)系統(tǒng)。

潔凈室標(biāo)準要求必須達到百級或者萬級,30萬級,必須配風(fēng)淋室,傳遞窗,FFU,高效送風(fēng)口,超凈工作臺,空氣過濾器等等。

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